アイリス株式会社

超高純度ガス、炭酸ガス中の微量水分測定のため特別設計
・-120℃dP(＜1ppmV相当)までをカバーする測定範囲
・1/4"VCR(面シール継ぎ手)によるプロセス接続
・応答が早く信頼性が高い
・安定して再現性のある露点温度測定
・2線式トランスミッタ
・12～28VDCの電源で動作
・4～20mADCの信号出力
・低露点校正を実施

応用事例
・高純度ガス用に
・炭酸水素ガス
・光ファイバ製造ライン
・電子部品製造ライン
・光学コーティングプロセス
・半導体製造ライン
・半導体検査装置
・工業ガスの生産と充填場
・LED製造ライン

露点計センサー仕様
・センサタイプ：静電容量式露点センサ
・露点測定範囲：-120～-40℃dp(-110～-40℃dpにて実露点校正を実施)
・出　　力　　：4～20mADC(2線式トランスミッタ)
・電　　源　　：12～28VDC
・測定精度　　：±2℃dp(-100～-40℃dp)
　　　　　　　：±4℃dp(-120～-101℃dp)
・動作温度範囲：-40～+60℃
・動作圧力　　：10^-7Pa(10^-9torr)(min)
　　　　　　　：24MPaG(max)
・流　　量　　：1～5NL/min

センサーハウジング仕様
・ハウジング　：冷却延伸ステンレス製センサブロック(電解研磨)
・内面処理　　：0.1～0.2Ra μm ・配管接続　　：1/4"VCR(オス)

モニタ部仕様
・表示単位　　：℃dp(露点温度)、ppmv(水分量)
・電　　源　　：85～264VAC、50/60Hz
・動作温度範囲：-5～+50℃(モニタ部)
・保管温度範囲：-40～75℃(結露のないこと) ・モニタ出力　：4～20mADC
・通信I/F　　 ：RS485 Modbus RTU
・ディスプレイ：6桁LED
・表示分解能　：0.1℃dp(露点)、0.01ppmv(水分量)
・警報出力　　：4点
　　　　　　　　C接点(2点) 10A/240VAC、8A/24VDC
　　　　　　　　A接点(2点)　5A/240VAC、4A/24VDC
・外形寸法　　：96mm(W)×48mm(H)×137mm(D) (1/8DINケース)